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CVD系統(tǒng)(高真空)

簡要描述:CVD系統(tǒng)(高真空)GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)1.包含一款通過CE認(rèn)證的高溫管式爐,2.包含一款GYS-3Z低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng) 3.包含一款OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GYS-1500C-II
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-28
  • 訪  問  量:494
詳細(xì)介紹
品牌HF.weiyuansu升溫速度(達(dá)到最高溫)≤10/min
加熱方式硅鉬棒最大功率11kW
控溫精度±1℃最高溫度1500℃
價(jià)格區(qū)間面議儀器種類管式爐
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,地礦,冶金,航天,綜合
長期使用溫度1400℃可選管徑φ60、φ80、φ100

CVD系統(tǒng)(高真空)GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)1.包含一款通過CE認(rèn)證的高溫管式爐,2.包含一款GYS-3Z低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng) 3.包含一款OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表。

CVD系統(tǒng)(高真空)GYS-1500C-II+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)(CVD系統(tǒng)高真空)

一款通過CE認(rèn)證的高溫管式爐,其爐管采用的高純氧化鋁剛玉管,加熱元件為硅碳棒。隨身帶有兩個(gè)真空密封法蘭(法蘭上已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥),控溫方式采用50段程序設(shè)置,最高溫度可達(dá)1500℃。

產(chǎn)品型號(hào)

管 式爐  GYS-1500C-II(φ60、φ80、φ100)

主要產(chǎn)品參數(shù)

電源:380V 50/60HZ

額定功率:11 KW

最高工作溫度:1500℃(<0.5h)

連續(xù)工作溫度:1400 ℃以下≤10℃/min; 1400 ℃以上≤5℃/min;

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區(qū)長度:600mm;  雙溫區(qū)長度300mm+300mm

爐體結(jié)構(gòu)

爐體特點(diǎn):采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng);爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能減少能量損失

加熱元件

硅碳棒

爐管尺寸

高純石英管φ60、φ80、φ100(備注:爐子在使用前,爐管兩端先放入管堵)

外形尺寸

1450mm(L)*500mm(W)*820mm(H)

重量

150KG

溫控系統(tǒng)

控溫方式:包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度:±1℃

真空密封

標(biāo)配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計(jì)

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經(jīng)理

真空度

采用雙旋片式機(jī)械真空泵真空度可以達(dá)到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

可選

本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉(zhuǎn)換系數(shù)

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件

CE、UL等認(rèn)證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等

售后

質(zhì)保期一年,終身維護(hù);24小時(shí)在線服務(wù)

特別聲明:耗材部分如加熱元件,石英管,坩堝等不包含在內(nèi)

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

氣體的流量應(yīng)限制在<200   SCCM(或200ml/ min)

質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-3Z參數(shù)表

GYS-3Z是一款低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將管式爐置于移動(dòng)柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個(gè)7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號(hào)

GYS-3Z

產(chǎn)品參數(shù)

電源:220V 50/60HZ

額定功率:23 W

流量計(jì)范圍:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM;

有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門

內(nèi)部連接管道為?6.35

產(chǎn)品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量

約30KG

產(chǎn)品特點(diǎn)

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸

一、OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表產(chǎn)品簡介

此機(jī)組為風(fēng)冷機(jī)組無需冷卻,本機(jī)組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實(shí)驗(yàn)室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶的使用范圍,本產(chǎn)品為一鍵啟動(dòng)模式,大大降低了對使用者的專業(yè)要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。

二、技術(shù)資料



名稱

詳情

主要參數(shù)

?  電源:220V 50/60HZ

?  額定功率:2KW

?  工作原理:前級(jí)泵次級(jí)泵交互泵組

?  最高真空度:5*10-5Pa

?  啟動(dòng)方式:一鍵啟動(dòng)


真空分子泵

?  型號(hào):JTFB-300F;

?  抽速:300L/S;

?  其他:刀口法蘭、風(fēng)扇、線纜等

前級(jí)泵(機(jī)械泵)

?  型號(hào):TRP-12;

?  抽速:12立方/小時(shí)雙級(jí)旋片

分子泵控制器

?  一鍵式啟動(dòng);

?  控制器集成電源;

?  帶頻率顯示控制器;

降溫模塊設(shè)備

風(fēng)扇風(fēng)冷模組

線纜

2米長驅(qū)動(dòng)線纜及電源線纜

復(fù)合真空計(jì)

?  型號(hào):ZDF5227AX

?  測量范圍:1.0×105~1*10-5Pa

?  其他:含真空計(jì)數(shù)據(jù)線纜等

泵組連接管

不銹鋼波紋管,2根

氣路控制

?  高真空擋板閥

?  型號(hào):GD-J25/KF

泵組殼體

風(fēng)冷泵組專用機(jī)架

售后

?  質(zhì)保期一年,終身維護(hù),24小時(shí)在線服務(wù)

?  特別提示:耗材部分如加熱元件、坩堝等不包括在內(nèi)








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